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如图是前段时间的一道笔试题目。也在论坛上看了一些前辈的资料。N阱电容大概也了解了,这次主要是想问下,这个电容的高频曲线和低频曲线会不会有区别。以下是我个人的一点小理解:
对于该电容,当VG>0时,N阱表面形成多子堆积态,此时电容始终是最大值,等于Cox
当Vg<0时候,随着负压的增大,N阱表面开始出现耗尽层并且耗尽层逐渐变宽,等效电容等于Cox与Cdep的串联,在逐渐降低;
当Vg<0并且N阱表面开始出现少字反型的时候,那么问题来了,随着负压的增大,高频与低频会不会曲线变化不一样?我想的是,如果是高频,那么此时N阱内部的少子很难有足够时间被吸引到表面再排斥回衬底这样来回,此时应该是耗尽层边缘的电荷在变化,总的电容等于Cox与Cdep的串联,保持最小值,也就是类似Z型曲线;如果是低频,那么此时N阱内部的少子有足够时间被吸引到表面再排斥回衬底这样来回,此时的等效电容只有Cox在充放电,因此曲线应该回到Cox的大小,也就是类似V型曲线。不知道这样思考是否正确,请大神指点。
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